射频匹配器-玛奇威芯半导体技术（苏州）有限公司

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射频匹配器

产品简介

MW国产替代Match型号:702-1315-0803

适用机台:Etch 制程

Match的基本参数:

a.射频输出功率:1,500W,频率 13.56Mhz

b.射频输出:3,000Vrms,35Arms

c. DC-input: 24Vdc, 5A max

d. 重量: 4.5kG

Command Set: MW 格式

射频匹配器

mqwx@matchwell.com.cn

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