MW国产替代Match型号:705-40100-0305
适用机台: PVD 制程
Match的基本参数:
a.射频输出功率: 10,000W,频率 40.68Mhz
b.射频输出:5,000Vrms, 147Arms
c. DC输入:1,200V,60A
d. DC输出:1,200V,50A
e. 带13.56MHZ滤波
f. DC-input: 24Vdc, 5A max
g. 重量: 18.0kG
h. Command Set: MW格式
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