MW国产替代Match型号:703-1320-0803
适用机台: CVD 制程
Match的基本参数:
a.射频输出功率:2,000W,频率 13.56Mhz
b.射频输出: 5,000Vrms, 50Arms
c.中频输出功率: 900W,频率 350Khz,1KVrms
d. DC-input: 24Vdc, 5A max
e.重量: 6.35kG
f. Command Set: 与对标国外竞品一致
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