MW国产替代Match型号:702-1315-0803
适用机台:Etch 制程
Match的基本参数:
a.射频输出功率:1,500W,频率 13.56Mhz
b.射频输出:3,000Vrms,35Arms
c. DC-input: 24Vdc, 5A max
d. 重量: 4.5kG
Command Set: MW 格式
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